Phương pháp tạo màng của màng gốm silicon cacbua
Phương pháp tạo màng của màng gốm cacbua silic Màng gốm cacbua silic có ưu điểm là chịu nhiệt độ cao, chống sốc nhiệt, chống ăn mòn, tổn thất cao và tuổi thọ dài. Nó là vật liệu quan trọng trong lĩnh vực kiểm soát ô nhiễm môi trường. Cách chuẩn bị màng gốm cacbua