
β‑Silicon Carbide (β‑SiC) Applications in the Semiconductor Industry
Ứng dụng của β-Silicon Carbide (β-SiC) trong ngành công nghiệp bán dẫn β-SiC, còn được gọi là 3C-SiC, có cấu trúc tinh thể lập phương kiểu kẽm blende và là một pha không bền vững. Nó khác với 4H-SiC (pha α lục giác) được sử dụng rộng rãi trên thị trường cho các thiết bị

