Ứng dụng của cacbua silic trên đĩa mài

Ứng dụng của Silicon Carbide trên đĩa
mài Đĩa mài. Đĩa mài là thiết bị quy trình quan trọng để sản xuất các tấm silicon cho VLSI trong ngành công nghiệp bán dẫn. Đĩa mài làm bằng gốm sứ cacbua silic có thể được mài và đánh bóng ở tốc độ cao do độ cứng của đĩa mài cao và độ mòn và hệ số giãn nở nhiệt thấp của đĩa mài bằng silic. Đặc biệt trong những năm gần đây, kích thước của các tấm silicon ngày càng lớn, điều này đặt ra yêu cầu cao hơn về chất lượng và hiệu quả của quá trình nghiền silicon. Việc sử dụng đĩa mài gốm silicon cacbua sẽ cải thiện đáng kể chất lượng và hiệu quả của quá trình mài wafer silicon.