Ứng dụng của bột cacbua silic trong sản xuất tấm silicon
Việc sản xuất tấm silicon trước tiên là chuẩn bị đế silicon carbide . Hiện nay, nó chủ yếu được sử dụng để cải thiện phương pháp Lly, phương pháp CVD nhiệt độ cao và phương pháp giải pháp.
Phương pháp Lly, còn được gọi là phương pháp thăng hoa, nguyên tắc cơ bản của nó là: trong than chì hình trụ rỗng (lớp than chì bên ngoài, vòng than chì xốp tích hợp), bột cacbua silic có độ tinh khiết cấp công nghiệp được đầu tư và vòng than chì xốp Gia nhiệt giữa 2500°C bị phân hủy và thăng hoa ở nhiệt độ này ở nhiệt độ này sinh ra hàng loạt chất pha khí như silic đơn tinh thể, SI2C và SIC2. Do chênh lệch nhiệt độ giữa thành trong và vòng than chì xốp, các pha khí này tạo ra nhân tinh thể một cách ngẫu nhiên ở thành trong của polychora. Tuy nhiên, tỷ lệ tài sản của Lly thấp, hạt nhân tinh thể khó kiểm soát và sẽ hình thành các cấu trúc khác nhau và kích thước bị hạn chế.
Với việc đi sâu nghiên cứu, các nhà nghiên cứu đã đề xuất cải tiến phương pháp Lely hay còn gọi là phương pháp truyền khí vật lý (PVT) được cải tiến trên cơ sở của phương pháp Lly. Nguồn SIC để vận chuyển vật chất của hạt tinh thể có thể kiểm soát hạt nhân tinh thể và tinh thể. Phương pháp này có thể thu được các tinh thể SIC có đường kính lớn hơn và mật độ thiếu hụt giãn nở thấp hơn. Với sự cải tiến liên tục của công nghệ tăng trưởng, các công ty đã được công nghiệp hóa đã được công nghiệp hóa bao gồm American Cree, Dowcorning, Ⅱ-ⅵ, SiCRYSTAL của Đức, Nipponsteel của Nhật Bản, Shandong Tianyue, Tiando Henda ở Trung Quốc.
Trong phương pháp PVT, có nhiều yếu tố ảnh hưởng đến quá trình tổng hợp tinh thể SIC. Trong số đó, bột SIC làm nguyên liệu thô tổng hợp sẽ ảnh hưởng trực tiếp đến chất lượng tăng trưởng và tính chất điện của các tinh thể đơn SIC. Do đó, trong những năm gần đây, việc điều chế bột SIC có độ tinh khiết cao đã dần trở thành một điểm nóng nghiên cứu trong lĩnh vực tăng trưởng đơn tinh thể SIC. Hiện nay, có ba phương pháp tổng hợp bột SIC chính trong ngành: thứ nhất là phương pháp pha rắn, và đại diện tiêu biểu nhất của pha rắn là phương pháp Acheson và phương pháp tổng hợp nhiệt độ cao tự lan truyền; Đại diện nhất của luật là phương pháp dung dịch gel và phương pháp phân hủy nhiệt polyme; thứ ba là phương pháp pha khí. Phương pháp pha khí tiêu biểu nhất là phương pháp lắng đọng khí hóa học và phương pháp plasma.
